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浙江凈化工程的分類(lèi)介紹

所謂的凈化工程就是為了使控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。浙江凈化工程可以分為亂流式 (Turbulent Flow)、層流式(Laminar)。

 1、亂流式

 空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板 回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

 2、層流式

 層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:

 (1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。

 優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單,運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。缺點(diǎn):建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。

 (2)垂直層流式:房間天花板 以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。

 優(yōu)點(diǎn):管理容易,運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。   亂流式缺點(diǎn):構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。復合式(Mixed Type):復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。


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